三元高頻雷達物位計機身采取一體化的設計，降低在使用過程中的機械磨損降低，延長使用壽命。其主要的工作原理分兩種，分別是調頻式和脈沖式。調頻式的功耗大，必須要用四線制，且電子電路比較復雜，相比下，脈沖式的功耗低，而且準確度較高，使用二線制供電即可，更加安全，適用范圍更廣。
三元高頻雷達物位計的工作過程是“發射—反射—接收”的模式，電磁波從發射到接收的時間與到液面的距離成正比。并且不需介質進行傳播，在真空環境中同樣可以進行測量，且具有不受大氣、蒸氣、揮發霧等測量介質的影響特點，能在易揮發的介質下應用。

除此之外，三元高頻雷達物位計測量方式采用是非接觸式測量，可以不被測量介質的物理、化學特性影響；測量范圍大，在高溫、高壓的液位下同樣可以測量，對于產生的虛假聲波可以調試消除。在制作天線是，采用的高質量材料，確保儀器關鍵部件的抗腐蝕能力。三元高頻雷達物位計對于測量的介電常數要求及低，通常情況下，介電常數越大，反射信號越強。